技术指标
l LED 光源波长:505 nm
l 测量耗时:5到10 秒
l Z 方向测量范围:250μm,分辨率:2nm
l X/Y 方向,平台移动范50mmX50mm,(马达驱动),分辨率:0.3μm
l 物镜:10X、20X、50X、100X
功能及特性
l 检测样品表面形貌
l 测量样品的高度、深度以及起伏角度(纳米级分辨率)联系人:严春伟
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