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石墨烯检测

  • 微加工及电学性能测试
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微加工及电学性能测试微加工及电学性能测试

微加工及电学性能测试

技术指标

l   SEM扫描成像功能

l   电子束曝光微加工最小尺度20nm

l   探针台针尖分辨率3µm

l   keithley 2612A双通道源表

功能及特性

l   石墨烯微纳米器件制备

l   IV曲线测试,电阻、迁移率测试

l 光电响应特性测试
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