数字全息显微镜DHM是Lyncee Tec公司的专利技术。其工作原理为:全息图由参考光束和经被测物体表面反射的物光光束相互干涉形成,携带有被观测物体的波前信息,由数码相机捕捉,再通过计算机对所记录的全息图进行数值重建来得到被测物体的相位和振幅(光强)信息,进完成被测物体的数值三维重建。
数字全息显微镜DHM的纵向精度是由激光的本征波长来校准的,因此提供了激光干涉级别的高精度和高可重复性的量测数据。纵向分辨率达到了亚纳米,横向分辨率则由所选物镜决定。
另外得益于对所记录全息图的先进数字重建运算,DHM® 可数值选取所需聚焦的像面(数字自动聚焦)。这一功能也允许用户在数据记录后重新寻找聚焦像面,而无需再调整样品实际高度。