反射式数字全息显微镜(DHM-R),非扫描非接触无损测量,显示静态和动态三维形貌,表征周期振动。
无与伦比的速度,独具创新的技术
超高速记录动态三维形貌
DHM采用非扫描机制,采集单帧图像既能记录样品表面三维形貌,因此拥有其他技术无法匹敌的图像采集速度。使用标准相机采集速度为视频速率30帧/秒,而高速相机可以达到1000帧/秒,使得以下应用变为可能:
研究可形变样品三维动态响应
表面大区域扫描分析
高产量常规检测
生产线在线三维形貌捕捉
MEMS测振分析,最高可达25 MHz频闪模块(可选配件)可同步DHM® 测量时激光脉冲与 MEMS器件的激励信号,获取振动周期内的全视场振动模态。 这些特有的分析数据可提供以下信息:
三维形貌时序图
频率共振分析和响应分析
面内面外振幅分析(面内振幅测量精度1nm,面外振幅测量精度5pm)
复杂运动表征,振动模态表征,样品动态三维形貌
多种可控环境下测量
独特的光学原理和光路设计使得DHM® 能够满足使用者在各种环境下的测量需求,提供灵活和便利的测量体验:
透过玻璃(盖玻片、载玻片、玻璃窗口)或者浸润液
观测环境控制箱或真空腔内部样品,可改变环境参数,比如温度、湿度、气压、气体成分等
测量透明样品三维形貌
得益于DHM® 多激光源配置,通过专用反射分析软件(可选配件)可以表征透明薄膜样品,包括:
透明结构表面形貌
多层透明薄膜组成结构的厚度、折射率,测量范围可从10纳米至几十微米柔性材料或是液体的形貌
数字全息显微镜DHM是Lyncee Tec公司的专利技术。其工作原理为:全息图由参考光束和经被测物体表面反射的物光光束相互干涉形成,携带有被观测物体的波前信息,由数码相机捕捉,再通过计算机对所记录的全息图进行数值重建来得到被测物体的相位和振幅(光强)信息,进完成被测物体的数值三维重建。
数字全息显微镜DHM的纵向精度是由激光的本征波长来校准的,因此提供了激光干涉级别的高精度和高可重复性的量测数据。纵向分辨率达到了亚纳米,横向分辨率则由所选物镜决定。
另外得益于对所记录全息图的先进数字重建运算,DHM® 可数值选取所需聚焦的像面(数字自动聚焦)。这一功能也允许用户在数据记录后重新寻找聚焦像面,而无需再调整样品实际高度。
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