原子力显微镜NT-MDT NTEGRA

NTEGRA平台是一个革命性的技术概念，在拥有所有SPM技术：原子力/磁力/静电力/表面电势/导电原子/扫描电容/压电力/纳米刻蚀等功能的同时，还能配备近场光学显微镜/共聚焦拉曼/外加磁场/超声原子力/纳米压痕等功能。Prima则是这个平台中的基础SPM，可以在此基础上根据科 研需求提供多达40 中SPM 功能，其中的每种功能都有一套在其专业领域有着杰出表现的独特配置。可选择配备独一无二的双扫描结构可以将扫描范围扩展最大到200x200um。

技术参数：
在大气环境下：
扫描隧道显微镜/ 原子力显微镜(接触 +半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/力谱线/粘附力成像/磁力显微镜/静电力显 微镜/扫描电容显微镜/开尔文探针显微镜/扩展电阻成像/纳米压痕/刻蚀: 原子力显微镜(电压+力)/压电力模式/超声原子力/外加磁场/温度控制/气氛控制等功能。
在液体环境下：
原子力显微镜(接触+半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/粘附力成像/力谱/刻蚀

测量头部：              AFM和SPM可选配液相模式和纳米压痕测量头
扫描方式：              样品扫描、针尖扫描、双扫描
样品尺寸：              样品扫描：直径40mm，厚度15mm。针尖扫描：样品无限制
XY样品定位装置：       移动范围5×5um，精度5um
扫描范围：              90×90×9um（带传感器/闭环控制）可选配低电压模式实现原子级分辨
XY方向非线性度：        ≤0.5%（带传感器/闭环控制）
Z方向噪音水平
(带宽1000Hz时的RMS值)： 闭环控制扫描器（典型值0.04nm，最大0.06nm）
光学显微系统：          配备高数值孔径物镜后，分辨率可由3um提升至1um
样品温度控制：         室温~300℃